NX9000

Главная особенность конструкции  — ортогональность SEM и FIB пучков. Такой дизайн позволяет получать высокоразрешающие SEM-EDX-EBSD 3D реконструкции с режиме реального времени без искажений. Использование прибора со специализированным программным обеспечением позволяет получать и обрабатывать 3D информацию на биологических и материаловедческих образцах в нанометровом масштабе легко и быстро. Прибор может быть оснащён системой аргонового травления, системой переноса образца без доступа кислорода.  

Major specifications
SEM	Источник электронов	Источник автоэлектронной эмиссии с холодным катодом
	Ускоряющее напряжение	0.1кВ～30кВ
	Разрешение	2.1 нм на 1 кВ, 1.6 нм на 15 кВ
FIB	Ускоряющее напряжение	0.5кВ～30кВ
	Ионный источник	На основе жидкометаллического галлия
	SIM Разрешение	4нм на 30кВ
	Максимальный ток пучка	0.05pA to 100nA