Микроскопы серии Hitachi Regulus SU8000 конструктивно выполнены в «semi-in-lens» дизайне, источником электронов служит электронная пушка с холодным полевым катодом. Это сочетание позволяет исследовать большие образцы и добиваться при этом разрешения 1,0 нм. Благодаря использованию холодного источника электронов, при уменьшении ускоряющего напряжения, разрешение снижается незначительно.
Дополнительный детектор позволяет получить контраст по составу поверхности. Благодаря улучшенному детектированию сигнала может отображаться самый верхний слой поверхности. Устранение заряда позволяет наблюдать непроводящие образцы.
Широкий монитор (24,1 дюйма, с разрешением 1920 х 1200) для более удобного наблюдения и управления. Благодаря использованию революционной технологии работы автоэмиссионных пушек, не требуется проведение регулярного флэшинга катода, и повышается стабильность тока пучка.
-
Разрешение:
- полученное во вторичных электронах0,4 нм на 30 кВ 0,8 нм на 15 кВ
- (в режиме торможения электронов)1,1 нм на 1 кВ
-
Электронная оптика:
- Ускоряющее напряжение 0,5 кВ — 30кВ
- (режим торможения электронов) 0,01 — 3,5 кВ
- Увеличение на плёнке х20 — х800 000
- на мониторе х60-х2000 000
-
Столик для камеры образцов:
- Перемещение, мм Х, Y: 110, Z: 1,5-40
- Наклон от -5° до 70°
- Вращение 360°
Для получения коммерческого предложения заполните форму