NX5000
Двулучевой FIB-SEM прибор высокого разрешения позволяет решать разнообразные задачи лабораторной пробоподготовки.
Основные преимущества:
- Высокое разрешение в режиме SEM
- Большая камера образца (подходит для работы с Si пластинами до 150 мм)
- Богатая система детектирования электронов, дающая комплексную информация об образце.
- Возможность установки Аргонового травления
- Высокая степень автоматизации процесса подготовки образца
- Идеален для высокоразрешающей SEM-EDX 3D реконструкции образцов
Major specifications | ||
SEM | Источник электронов | Источник автоэлектронной эмиссии с холодным катодом |
Ускоряющее напряжение | 0.1кВ~30кВ | |
Разрешение | 1.5 нм на 1 кВ, 0.7 нм на 15 кВ | |
Максимальный ток пучка | 10 nA | |
FIB | Ускоряющее напряжение | 0.5кВ~30кВ |
Ионный источник | На основе жидкометаллического галлия | |
SIM Разрешение | 4нм на 30кВ 60 нм на 2 кВ | |
Максимальный ток пучка | 100 nA |
Для получения коммерческого предложения заполните форму