NX5000

Двулучевой FIB-SEM прибор высокого разрешения позволяет решать разнообразные задачи лабораторной пробоподготовки. Основные преимущества:
  • Высокое разрешение в режиме SEM
  • Большая камера образца (подходит для работы с Si пластинами до 150 мм)
  • Богатая система детектирования электронов, дающая комплексную информация об образце.
  • Возможность установки Аргонового травления
  • Высокая степень автоматизации процесса подготовки образца
  • Идеален для высокоразрешающей SEM-EDX 3D реконструкции образцов
 
Major specifications
SEMИсточник электроновИсточник автоэлектронной эмиссии с холодным катодом
Ускоряющее напряжение0.1кВ~30кВ
Разрешение1.5 нм на 1 кВ, 0.7 нм на 15 кВ
 Максимальный ток пучка10 nA
FIBУскоряющее напряжение0.5кВ~30кВ
 Ионный источникНа основе жидкометаллического галлия
SIM Разрешение4нм на 30кВ 60 нм на 2 кВ
Максимальный ток пучка100 nA
 

Для получения коммерческого предложения заполните форму

    Для получения коммерческого предложения заполните форму