NX2000

Система с тройным (SEM-FIB-Ar Triple beam)пучком, предназначенная для получения ламелей для ПЭМ с минимальной аморфизацией и эффекта затенения. Пост-обработка ламелей низкоэнергетическим аргоновым пучком позволяет избежать аморфизации образца в зоне травления и получить высококачественную ламель для исследований методами просвечивающей электронной микроскопии. Система попеременной работы FIB и SEM пучков с быстрой сменой позволяет получать высокоразрешающее SEM изображение во время травления для более точной обработки образца. Разнообразные опции автоматизации позволяют проводить потоковую обработку большого количества образцов с за минимальное время.
Major specifications
SEMИсточник электроновИсточник автоэлектронной эмиссии с холодным катодом
Ускоряющее напряжение0.5кВ~30кВ
Разрешение2.8 нм на 5 кВ, 3.5 рм @ 1 кВ
FIBУскоряющее напряжение0.5кВ~30кВ
SIM Разрешение4нм на 30кВ
Максимальный ток пучка0.05pA to 100nA
Плотность тока пучка54A/cm2
Столик образца5-осевой моторизованный эвцентрический столик X:0~205мм Y:0~200mm Z:0~10мм Наклон:-5~60° Вращение:0~360°

Для получения коммерческого предложения заполните форму

    Для получения коммерческого предложения заполните форму