В новую серию от Hitachi High-Tech входят модели SU8600 и SU8700. На выбор доступны два вида источников электронов: Шоттки, холодный катод и различные конфигурации электронной колонны, в том числе с тормозящей трубкой. Основные особенности новых моделей:
— Добавлен новый внутрилинзовый детектор SE. Теперь число in-lens детекторов достигает трёх.
— Добавлен новый тип сцинтилляционного BSE-детектора, способного работать на очень больших скоростях.
— Программное обеспечение обладает возможностью записи скриптов (макросов) для автоматизации любых процессов съёмки. Макросы могут быть записаны как с помощью визуального конструктора, так и на языке Python.
— Доступна опция распознавания изображений и их фрагментов, что позволяет на лету проводить автоматизированный анализ получаемых снимков. Это удобно для автоматической сортировки изображений по типу, поиску, подсчёту и классификации частиц и др.